ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯁꯣꯏꯪ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯇꯔ
ꯄꯔꯐꯣꯃꯦꯟꯁ ꯍꯥꯏꯂꯥꯏꯠꯁꯤꯡ .
|
ꯃꯑꯣꯡ ꯃꯇꯧ |
ꯂꯤꯗꯥꯍꯦꯡ ꯁ꯭ꯇꯦꯟꯗꯔꯗ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯌꯥꯏ꯫ |
ꯏꯟꯗꯁ꯭ꯠꯔꯤꯒꯤ ꯆꯥꯡꯆꯠꯇꯥ ꯑꯣꯏꯕꯥ [...] |
|
ꯄ꯭ꯌꯨꯔꯤꯇꯤ ꯔꯦꯟꯖ ꯑꯃꯥ . |
95%~99.9995% |
95%~99.9% |
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ꯑꯦꯅꯔꯖꯤ ꯀꯟꯖꯨꯝ ꯇꯧꯕꯥ |
꯰.꯲꯵~꯰.꯳꯰ ꯀꯤꯂꯣꯋꯥꯠ/ꯑꯦꯟ.ꯑꯦꯝ.꯳. |
꯰.꯳꯵~꯰.꯵꯰ ꯀꯤꯂꯣꯋꯥꯠ/ꯑꯦꯟ.ꯑꯦꯝ.꯳. |
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ꯁꯤ.ꯑꯦꯝ.ꯑꯦꯁ.ꯀꯤ ꯂꯥꯏꯐꯁ꯭ꯄꯦꯟ . |
ꯆꯍꯤ ꯱꯰~꯱꯲ . |
꯵~꯸ ꯆꯍꯤ ꯴. |
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ꯁ꯭ꯇꯥꯔꯇꯑꯄꯀꯤ ꯃꯇꯝ |
<15 minutes |
30+ ꯃꯤꯅꯤꯠ ꯴. |
ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯁꯣꯏꯪ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯇꯔ ꯂꯤꯗꯥꯍꯦꯡꯅꯥ ꯁꯦꯝꯕꯥ – ꯑꯦꯛꯁꯦꯂꯦꯟꯁꯀꯤꯗꯃꯛ ꯏꯟꯖꯤꯅꯤꯌꯔ ꯇꯧꯕꯥ
ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯃꯤꯔꯣꯂꯗꯥ ꯃꯥꯟꯅꯕꯥ ꯂꯩꯇꯕꯥ ꯑꯅꯧꯕꯥ ꯊꯧꯑꯣꯡꯁꯤꯡ
ꯂꯤꯗꯥꯍꯦꯡꯒꯤ ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯁꯣꯏꯪ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ (ꯄꯤ.ꯑꯦꯁ.ꯑꯦ.) ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯇꯔꯅꯥ ON-ꯁꯥꯏꯠ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯄꯨꯊꯣꯀꯄꯗꯥ ꯊꯥꯖꯕꯥ ꯌꯥꯕꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯏꯐꯤꯁꯤꯑꯦꯟꯁꯤ ꯑꯃꯨꯛ ꯍꯟꯅꯥ ꯁꯦꯃꯗꯣꯀꯏ꯫ ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ-ꯄꯨꯋꯥꯔꯤ (꯹꯵%~꯹꯹.꯹꯹꯹꯵%), ꯀꯟꯇꯤꯟꯌꯨꯑꯣꯁ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀꯣꯁ꯭ꯠ-ꯏꯐꯦꯛꯇꯤꯚ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯁꯞꯂꯥꯏ, ꯑꯩꯈꯣꯌꯒꯤ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯃꯁꯤꯡꯅꯥ ꯄ꯭ꯔꯣꯄꯔꯇꯤ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤ, ꯏꯟꯇꯦꯂꯤꯖꯦꯟꯇ ꯀꯟꯠꯔꯣꯂꯁꯤꯡ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀꯟꯚꯦꯟꯁꯅꯦꯜ ꯁꯣꯂꯨꯁꯅꯁꯤꯡꯗꯒꯤ ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯂꯨꯝꯅꯥ ꯂꯧꯕꯥ ꯀꯟꯁꯠꯔꯛꯁꯅꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯏꯟꯇꯤꯒ꯭ꯔꯦꯠ ꯇꯧꯏ꯫
ꯂꯤꯗꯥꯍꯦꯡꯒꯤ ꯀꯝꯄꯤꯇꯤꯇꯤꯕ ꯑꯦꯗꯚꯥꯟꯇꯦꯖꯁꯤꯡ
꯱.ꯑꯦꯗꯚꯥꯟꯁ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤ .
- ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ-ꯏꯐꯤꯁꯤꯑꯦꯟꯁꯤ ꯁꯤ.ꯑꯦꯝ.ꯑꯦꯁ.: ꯄ꯭ꯔꯣꯄꯔꯇꯤ ꯂꯥꯏꯁꯦꯏꯚTM ꯀꯥꯔꯕꯣꯟ ꯃꯣꯂꯤꯛꯌꯨꯂꯔ ꯁꯤꯚꯁꯤꯡꯅꯥ ꯲꯰% ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯌꯥꯡꯅꯥ ꯑꯣ₂ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯔꯦꯠꯁꯤꯡ ꯄꯤꯔꯤ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯆꯍꯤ ꯱꯰-꯱꯲ꯒꯤ ꯄꯨꯟꯁꯤ ꯃꯍꯤꯡ ꯁꯥꯡꯗꯣꯀꯏ, ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯃꯍꯨꯠ ꯁꯤꯅꯕꯒꯤ ꯃꯃꯜ ꯍꯟꯊꯍꯜꯂꯤ꯫
- 6-ꯇꯥꯎꯑꯣꯔ ꯁꯤꯛꯕꯦꯟꯁꯤꯑꯦꯜ PSA: ꯄꯦꯇꯦꯟꯇ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯑꯣꯇꯣ-ꯕꯦꯂꯦꯟꯁ ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯔꯤꯀꯣꯚꯔꯤ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯝ ꯑꯁꯤꯅꯥ ꯑꯦꯅꯔꯖꯤꯒꯤ ꯑꯃꯣꯠꯄꯥ ꯍꯟꯊꯍꯜꯂꯤ, ꯃꯁꯤꯅꯥ 0.25 kWh/nm3 (ꯏꯟꯗꯁ꯭ꯠꯔꯤ-ꯂꯤꯗꯤꯡ) ꯐꯪꯕꯥ ꯉꯝꯃꯤ꯫
- ꯄ꯭ꯔꯤꯁꯤꯁꯟ ꯐ꯭ꯂꯣ ꯀꯟꯠꯔꯣꯜ: ꯗꯥꯏꯅꯥꯃꯤꯛ ꯚꯜꯌꯨ ꯃꯣꯗ꯭ꯌꯨꯂꯦꯁꯟꯅꯥ ꯚꯦꯔꯤꯑꯦꯕꯜ ꯗꯤꯃꯥꯟꯗꯒꯤ ꯃꯈꯥꯗꯥ ꯐꯥꯑꯣꯕꯥ ±1% ꯄ꯭ꯌꯨꯔꯤꯇꯤ ꯁ꯭ꯇꯦꯕꯤꯂꯤꯇꯤ ꯊꯝꯃꯤ꯫
꯲.ꯁ꯭ꯃꯥꯔꯠ ꯑꯣꯄꯔꯦꯁꯟ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀꯅꯦꯛꯇꯤꯕꯤꯇꯤ .
ai-ꯄꯥꯋꯔ ꯑꯣꯞꯇꯤꯃꯥꯏꯖꯦꯁꯟ:
- ꯁꯦꯜꯐ-ꯂꯔꯅꯤꯡ ꯑꯦꯂꯒꯣꯔꯤꯊꯃꯅꯥ ꯔꯤꯑꯦꯜ-ꯇꯥꯏꯝ ꯑꯦꯌꯔ ꯀ꯭ꯕꯥꯂꯤꯇꯤ (ꯍꯨꯃꯤꯗꯤꯇꯤ/ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ)ꯗꯥ ꯌꯨꯝꯐꯝ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯁꯥꯏꯀꯂꯒꯤ ꯃꯇꯃꯁꯤꯡ ꯑꯦꯗꯖꯁ꯭ꯠ ꯇꯧꯏ꯫
- ꯁꯤ.ꯑꯦꯝ.ꯑꯦꯁ.ꯀꯤ ꯁꯦꯆꯨꯔꯦꯁꯟ, ꯚꯜꯌꯨ ꯋꯦꯌꯔ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯐꯤꯜꯇꯔ ꯃꯍꯨꯠ ꯁꯤꯅꯕꯥ ꯌꯥꯕꯥ ꯄ꯭ꯔꯤꯗꯤꯛꯇꯤꯚ ꯃꯦꯟꯇꯦꯅꯦꯟꯁ ꯑꯦꯂꯔꯇꯁꯤꯡ꯫
ꯏꯟꯗꯁ꯭ꯠꯔꯤ ꯴.꯰ ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯥ:
- ꯀ꯭ꯂꯥꯎꯗ-ꯑꯣ ꯲ ꯄ꯭ꯌꯨꯔꯤꯇꯤ ꯇ꯭ꯔꯦꯟꯗꯤꯡ ꯔꯤꯄꯣꯔꯇꯁꯤꯡꯒꯥ ꯂꯣꯌꯅꯅꯥ ꯌꯨꯝꯐꯝ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯔꯤꯃꯣꯠ ꯃꯣꯅꯤꯇꯔꯤꯡ (ꯂꯤꯀꯂꯧ® ꯄ꯭ꯂꯦꯠꯐꯣꯔꯝ)꯫
- MODBUS RTU/PROFINET ꯏꯟꯇꯤꯒ꯭ꯔꯦꯁꯟ ꯄ꯭ꯂꯥꯟꯇ-ꯄꯥꯛ ꯁꯟꯗꯣꯀꯄꯥ ꯑꯣꯇꯣꯃꯦꯁꯅꯒꯤꯗꯃꯛꯇꯥ꯫
꯳.ꯑꯆꯦꯠꯄꯥ ꯏꯟꯗꯁ꯭ꯠꯔꯤꯌꯦꯜ ꯗꯤꯖꯥꯏꯟ .
ꯍꯦꯚꯤ-ꯗ꯭ꯌꯨꯇꯤ ꯀꯝꯄꯣꯅꯦꯟꯇꯁꯤꯡ:
- 316L ꯁ꯭ꯇꯦꯅꯂꯦꯁ ꯁ꯭ꯇꯤꯜ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯇꯋꯥꯔꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯑꯀꯅꯕꯥ ꯑꯀꯣꯌꯔꯣꯅꯁꯤꯡꯒꯤꯗꯃꯛ ꯑꯦꯟꯇꯤ-ꯀꯣꯔꯣꯁꯤꯟ ꯀꯣꯇꯤꯡꯒꯥ ꯂꯣꯌꯅꯅꯥ꯫
- ꯖꯔꯃꯅꯤ-ꯁꯥꯏꯀꯜ ꯃꯤꯂꯤꯌꯟ ꯱꯰ꯒꯤ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯔꯦꯠ ꯇꯧꯕꯥ ꯅ꯭ꯌꯨꯃꯦꯇꯤꯛ ꯚꯜꯌꯨꯁꯤꯡ (ꯖꯤꯔꯣ ꯂꯤꯀꯦꯖ ꯒꯔꯦꯟꯇꯤ)꯫
ꯃꯣꯗꯨꯂꯔ ꯁ꯭ꯀꯦꯂꯦꯕꯤꯂꯤꯇꯤ:
- Skid-ꯍꯥꯌꯕꯗꯤ ꯐꯖꯅꯥ ꯄꯥꯀꯊꯣꯛ ꯆꯥꯎꯊꯣꯀꯍꯟꯅꯕꯒꯤꯗꯃꯛ ꯀꯟꯇꯦꯅꯔꯥꯏꯖ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯗꯤꯖꯥꯏꯅꯁꯤꯡ (ꯁꯠꯗꯥꯎꯟ ꯌꯥꯑꯣꯗꯅꯥ ꯃꯣꯗ꯭ꯌꯨꯂꯁꯤꯡ ꯍꯥꯄꯆꯤꯜꯂꯨ)꯫
- ꯑꯦꯛꯁꯞꯂꯣꯁꯟ-ꯑꯣꯏꯜ & ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯑꯦꯞꯂꯤꯀꯦꯁꯅꯁꯤꯡꯒꯤꯗꯃꯛꯇꯥ ꯐꯪꯂꯤꯕꯥ ꯄ꯭ꯔꯨꯐ (ꯑꯦꯇꯦꯛꯁ/ ꯑꯥꯏ.ꯏ.ꯁꯤ.ꯏ.ꯑꯦꯛꯁ.) ꯚꯔꯁꯅꯁꯤꯡ꯫
꯴.ꯑꯦꯅꯔꯖꯤ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀꯣꯁ꯭ꯠ ꯁꯦꯚꯤꯡ ꯇꯧꯕꯥ
- ꯑꯃꯣꯠꯄꯥ ꯍꯤꯠ ꯔꯤꯀꯣꯚꯔꯤ: ꯑꯣꯄꯁꯅꯦꯜ ꯍꯤꯠ ꯑꯦꯛꯁꯆꯦꯟꯖꯔꯅꯥ ꯐꯦꯁꯤꯂꯤꯇꯤ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯅꯕꯒꯤꯗꯃꯛ (15% ꯐꯥꯎꯕꯥ ꯑꯦꯅꯔꯖꯤ ꯁꯦꯚꯤꯡ ꯇꯧꯕꯥ) ꯀꯝꯞꯔꯦꯁꯔ ꯍꯤꯠ ꯑꯗꯨ ꯑꯃꯨꯛ ꯍꯟꯅꯥ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯩ꯫
- ꯍꯥꯏꯕ꯭ꯔꯤꯗ ꯃꯣꯗ: ꯑꯣꯇꯣꯃꯦꯇꯤꯛ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯃꯦꯝꯕ꯭ꯔꯦꯅꯗꯥ ꯍꯣꯡꯗꯣꯀꯏ-ꯂꯣ-ꯗꯤꯃꯥꯟꯗ ꯄꯤꯔꯤꯌꯗꯁꯤꯡꯒꯤ ꯃꯅꯨꯡꯗꯥ (ꯄꯥꯋꯔ ꯲꯵% ꯀꯀꯊꯕꯥ) ꯄꯤ.ꯑꯦꯁ.ꯑꯦ.
ꯏꯟꯗꯁ꯭ꯠꯔꯤ-ꯑꯀꯛꯅꯕꯥ ꯁꯣꯂꯨꯁꯅꯁꯤꯡ
ꯏꯂꯦꯛꯠꯔꯣꯅꯤꯛꯁ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯤꯡ ꯇꯧꯕꯥ
ꯑꯂꯠꯔꯥ-ꯂꯣ ꯍꯥꯏꯗ꯭ꯔꯣꯀꯥꯔꯕꯣꯟ (<0.1ppm) models prevent wafer contamination.
ꯐꯨꯗ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯐꯥꯔꯃꯥ .
ꯑꯦꯐ.ꯗꯤ.ꯑꯦ.{꯰}}ꯁ꯭ꯇꯦꯔꯤꯜ ꯑꯦꯌꯔ ꯄ꯭ꯔꯦꯞ ꯌꯥꯑꯣꯕꯥ ꯀꯝꯞꯂꯥꯏꯑꯦꯟꯇ ꯁ꯭ꯇꯦꯅꯂꯦꯁ ꯁ꯭ꯇꯤꯜ ꯌꯨꯅꯤꯠꯁꯤꯡ꯫
ꯀꯦꯃꯤꯀꯦꯜ ꯄ꯭ꯂꯥꯟꯇꯁꯤꯡ .
H2S-ꯁꯣꯌꯔ ꯒ꯭ꯌꯥꯁꯀꯤ ꯑꯀꯣꯌꯔꯣꯅꯁꯤꯡꯒꯤꯗꯃꯛ ꯔꯦꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯟꯇ ꯁꯤꯚꯁꯤꯡ꯫
ꯀꯔꯤꯒꯤꯗꯃꯛꯇꯥ ꯀꯁ꯭ꯇꯃꯔꯁꯤꯡꯅꯥ ꯂꯤꯗꯥꯍꯦꯡ ꯈꯅꯒꯠꯂꯤꯕꯅꯣ?
꯱.ꯍꯥꯌꯔ ꯔꯣꯏ – ꯴꯰% ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯅꯦꯝꯕꯥ ꯑꯣꯄꯔꯦꯇꯤꯡ ꯀꯣꯁ꯭ꯠ ꯕꯔꯁꯦꯁ ꯂꯤꯛꯕꯤꯗ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ꯫
꯲.ꯆꯥꯏꯅꯥꯒꯤꯗꯃꯛ ꯁꯦꯝꯕꯥ – ꯂꯣꯀꯦꯂꯥꯏꯖ ꯄ꯭ꯔꯗꯛꯁꯟꯅꯥ ꯅꯨꯃꯤꯠ ꯲ꯒꯤ ꯗꯦꯂꯤꯕꯔꯤ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯲꯴/꯷ ꯇꯦꯛꯅꯤꯀꯦꯜ ꯁꯄꯣꯔꯠ ꯁꯣꯌꯗꯅꯥ ꯐꯪꯍꯜꯂꯤ꯫
3.ꯐ꯭ꯌꯨꯆꯔ-ꯄ꯭ꯔꯣꯐ – ꯍꯥꯏꯗ꯭ꯔꯣꯖꯦꯟꯗꯥ ꯑꯄꯒ꯭ꯔꯦꯗ ꯇꯧꯕꯥ ꯌꯥꯕꯥ-PSA CO-ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯁꯟ (ꯄꯥꯏꯂꯠ ꯄ꯭ꯔꯣꯖꯦꯛꯇꯁꯤꯡ ꯂꯩꯕꯥ)꯫
ꯁꯔꯇꯤꯐꯤꯀꯦꯁꯅꯁꯤꯡ: ꯑꯥꯏ.ꯑꯦꯁ.ꯑꯣ.꯹꯰꯰꯱, ꯁꯤ.ꯏ., ꯖꯤ.ꯕꯤ./ꯇꯤ ꯱꯹꯰꯰꯱, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯦꯛꯁꯞꯂꯣꯁꯟ-ꯄ꯭ꯔꯨꯐ ꯁꯔꯇꯤꯐꯤꯀꯦꯁꯅꯁꯤꯡ꯫
ꯍꯠ ꯇꯦꯒꯁ: ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯁꯣꯏꯪ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯇꯔ, ꯆꯥꯏꯅꯥ ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ ꯁꯣꯏꯪ ꯑꯦꯗꯁꯣꯔꯁꯟ ꯅꯥꯏꯠꯔꯣꯖꯦꯟ ꯖꯦꯅꯦꯔꯦꯇꯔ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯔꯁꯤꯡ, ꯐꯦꯛꯇꯔꯤ